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0571-85123400
中安
中安
WLXB8000pro
全自動晶圓高溫老化測試系統

適用于8英寸及以下、晶圓獨立高溫柵偏試驗(HTGB)、高溫反偏試驗(HTRB)、Vth測試及全自動老化篩選。


提供API接口，開放設備狀態、通道狀態、試驗數據、失效數據等對外接口，可部署在私有云或者公有云上，實現實驗室設備、工作人員、任務及數據的數字化管理，提升試驗效率及試驗規范化、標準化程度；

可以讀取POD ID（正面）和Cassette ID(左邊)；配置E84通訊協議，以及配置Loadport天車搬運的安全擋板和光柵。





┃ 試驗數量

20層chuck；支持單chuck 2112 die 同時老化; 

┃ 試驗溫度

每區加熱臺室溫～200℃，準確性±2℃，溫度過沖≤3℃;

┃ HTRB

┃ IDSS電流檢測

電壓0～2000V，分辨率1V;

0.1μA～1mA，分辨率0.1uA，檢測精度±(1%rdg.+2LSB)

┃ HTGB

┃ IGSS電流檢測

電壓±60V，分辨率0.1V;

10pA～500uA，分辨率10pA，檢測精度±(1%rdg.+2LSB)

┃ Vth閾值電壓檢測

┃ 保護氣壓

0~10V，分辨率0.1V;

0～4bar惰性氣體




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